키엔스 VK-9510 초심도 컨포칼 3D 측정 현미경

키엔스 VK-9510 초심도 컨포칼 3D 측정 현미경
직선 곡선 다양한 2D-3D 측정

모터라이즈 스테이지 자동측정
반도체 부품 및 광학재료의 3차원 미세 구조 관측
패턴 가공후에 형상 및 각도에 대한 가공품질측정에 사용
 대물 렌즈 10,50,100,1500
 광학배율 : 100× ~ 15000×
 디지털배율 : 400x ~6000x
 측정용 광학계 : 핀 홀에 의한 콘포칼 광학계
 측정 범위 - 가로（Ｈ）：μｍ - 1350, 675, 270, 90 - 세로（Ｖ）：μｍ - 1012, 506, 202, 67
 작동 거리：ｍｍ - 16.5, 3.1, 0.35, 0.2 
 수평 해상도：μｍ - 0.14μm ▸광학 줌 - 1~6배(0.1배 스텝)
 최대 시료 사이즈 - 시료 최대 높이 : 28㎜ × 3 - 시료 최대 크기 : 직경 318ｍｍ 전면 관찰 가능

All measuring machine services
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중고측정기(3차원측정기,비접촉측정기,공구현미경,비디오메타,형상측정기
조도측정기,투영기,광학현미경,실체현미경,진원도측정기,이차원측정기)
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